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北京曉韜科技有限公司

AB-13MFC Mass Flow Controller服務(wù)為先「曉韜科技」

2021-06-21







質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器,利用氣流流過(guò)毛細管,改變毛細管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計,其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應氣流瞬時(shí)流量, 所以特別適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測量和控制。



質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現,當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,因為在MFC行業(yè)中,有一種參數叫CF,即氣體轉換系數(下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮氣)定義為標準氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà),簡(jiǎn)單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的,但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He,實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí),是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái),如果N2流過(guò)He的MFC,實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí),考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。



質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準確度高

3. 無(wú)直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類(lèi)

質(zhì)量流量計可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另質(zhì)量流量計一類(lèi)為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。



質(zhì)量流量計故障處理方法

硬件故障若出現誤差偏大,積算器顯示不亮或不增值,顯示器空白位等現象,其原因:

a.安裝不規范,可直接導致流量計零漂,如質(zhì)量流量計安裝在泵出口處較近,傳感器支撐強度不夠,連接法蘭焊接不當產(chǎn)生應力信號,電纜受電磁干擾。

b.接線(xiàn)問(wèn)題若出現顯示器不亮現象,應檢查積算器電源連線(xiàn),若出現保險絲被燒,應確認輸入電壓與標準電壓標稱(chēng)值,交直流形式是否一致。又若出現積算器不隨流量增加時(shí),應檢查積算器接線(xiàn),若積算器裝有正/反向程序,應檢查流量計接線(xiàn),因流量計接線(xiàn)不正確,會(huì )使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測量介質(zhì)出現夾氣,氣化或兩相流等現象,變送器會(huì )出現報警顯示,嚴重時(shí),傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問(wèn)題。

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